三维形貌测量
客户需求:
X-Y-Z轴平台,搭载镜头和传感器实现表面形貌测量应用。
Z轴需要搭载2.5kg镜头组件,运动要求极高的匀速性。
由于光学焦平面需要调整,Z轴必须借助直线驱动调整,修正后精度可以实现±2μm。
我们的方案和使用效果:
Lxu 80F60系列,配1μm分辨率光栅,Z轴重力补偿系统。
双向重复精度1.2μm。
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